一、在食品工廠設(shè)計(jì)裝修中，潔凈室中的配管種類(lèi),除了設(shè)有通常一般廠房都設(shè)置的消防水管、冷卻水管、生活用水管、排水管、一般壓縮空氣管外,通常還根據(jù)各類(lèi)食品工廠潔凈室內(nèi)產(chǎn)品品種的不同、產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的不同,要求供應(yīng)各種類(lèi)型、各種純度等級(jí)的氣體、液體、化學(xué)品用作原料、保護(hù)介質(zhì)或清洗劑或吹掃置換介質(zhì)等,這些流體常常與產(chǎn)品直接接觸,因此要求供應(yīng)不污染產(chǎn)品、雜質(zhì)含量極微的流體。在集成電路生產(chǎn)用潔凈室中通常有高純氣體配管,包括高純普氣(或大宗氣體)如H2、N2、O2、Ar、He等;特種氣體如SCl4、SiH4、PH3、B2H6、AsH3、cl2等;這些氣體常常分別具有可燃易燃、窒息、強(qiáng)氧化、腐蝕、有毒等性質(zhì)。高純水或超純水配管等。在藥品生產(chǎn)用潔凈室中通常要求供應(yīng)無(wú)熱原的注射用水、滅菌消毒用純蒸汽或無(wú)菌蒸汽、無(wú)菌壓縮空氣、清洗用純水或配料用純水配管等。因此對(duì)潔凈空配管可歸納為下列幾類(lèi)。
1、食品工廠凈化空調(diào)系統(tǒng)用冷凍水供回水配管、熱水供回水配管、加濕用蒸汽管(藥品生產(chǎn)有時(shí)需純蒸汽管)等。
2、產(chǎn)品生產(chǎn)用純水、有超純水配管、注射用水管、純水管,有時(shí)還有低溫純水管、溫純水管等。
3、產(chǎn)品生產(chǎn)用高純氣體(含特種氣體管),這類(lèi)高純氣配管有的潔凈室僅有數(shù)種,有的則有數(shù)十種,這里不一一列舉。
4、產(chǎn)品生產(chǎn)或滅菌消毒用蒸汽管或滅菌蒸汽配管或純蒸汽配管;滅菌壓縮空氣管等。
二、配管管材、附件的選擇,如前所述食品工廠潔浄室內(nèi)各類(lèi)配管種類(lèi)很多、性質(zhì)各異、純度要求嚴(yán)格,高品質(zhì)的產(chǎn)品生產(chǎn)要求這些流體在輸送過(guò)程中不會(huì)受到沾污,這里所說(shuō)的沾污包括化學(xué)的、機(jī)械的和微粒等的沾污,要使所選用的材質(zhì)、附件達(dá)到如上要求是十分困難的,比如若采用一般的不銹鋼管材和不銹鋼閥門(mén),據(jù)有資料介紹此類(lèi)閥門(mén)開(kāi)關(guān)一次將會(huì)有≥0.1μm微粒數(shù)十顆帶入被輸送的流體中。因此目前在潔凈廠房的高純氣體輸送用管材主要采用不銹鋼電拋光管(EP管)或光亮退火管(BA管),閥門(mén)采用與管材相同材質(zhì)的隔膜閥或波紋管閥.
潔凈室高純水、注射用水的輸送用管材主要采用不銹鋼管和聚氯乙烯(UPVC、Cl-PVC)、聚丙烯(PP)、丙烯腈-丁二烯-苯二烯(ABS)、聚偏氟乙烯(PVDF)等管材,閥門(mén)附件采用與管材相同材質(zhì)的隔膜閥等。對(duì)腐蝕性、有毒的化學(xué)品的輸送用管材,在微電子用潔凈廠房中采用PFA(四氟乙烯管)。