潔凈室設計的潔凈室建筑平面布置要注意平面形狀的簡潔,功能分區明確,管線隱蔽空間的合理分布,生產工藝和設備更新的靈活性以及防火疏散的安全性等向題。
潔凈廠房建筑平面組合形式常采用貼鄰、塊狀、圍合等組合方式。根據不同的跨度、高
度和柱網來組織空間。在具體平面布置時要考慮下列情況。
一、潔凈室與一般生產室分區集中布置
對于潔凈廠房來說,有空氣潔凈度要求的生產房間往往僅為部分工序或者部分部件的生產區,即使是全部產品生產區要求具有不同等級的潔凈室(區),但潔凈廠房內還有生產輔助用房、公用動力和凈化空調機房等為一般環境,所以潔凈廠房內部往往兼有潔凈生產環境和一般生產環境。各類產品生產用潔凈室要求的空氣潔凈度等級是決定潔凈生產區平面布置的主要因素。在進行綜合性廠房的平面布局時,一般應將潔凈室(區)與一般生產環境的房間分區集中布置,以有利于人流、物流的安排和防止污染和交又污染,也有利于凈化空調系統及其管線的布置和減少建筑面積等。
二、潔凈室及其公用動力設施的布置
凈化空調系統、水、氣凈化裝置和電氣裝置是清潔廠房的重要組成部分。它們的面積在潔凈廠房建造中占有較大比例。這些潔凈廠房的規模、設備特點、位置及其配水管網的布置對潔凈廠房的空間組合和規模有很大的影響。為了取得良好的使用效果和經濟性，有必要解決它們與生產過程之間的布局關系。
1、集中設置，該類機房在廠區內的位置布置主要針對生產工藝布置的特點和要求，以及供、回風管道的長度。當廠房面積不大、系統簡單、管線交叉不多時,可將送回風干管布置在上部技術夾層;當廠房的面積較大、較長,或者系統劃分較多時,宜沿廠房長邊布置機房,每個系統可以直接與所服務的潔凈室對應排列;當采用頂部技術夾層時,送回風干管走向與屋頂承重構件方向相平行,可以究分利用空間。有的潔凈室工程,將機房設置在技術夾層的頂部,不僅縮短了風管長度而且節省了用地。
2、分散設置、工廠建筑面積大或生產區域太分散，計算機房集中安裝使布置困難，經技術經濟比較，也可分為若干機房。在技術改造工程中,往往因原有房屋空間條件所限,需將凈化空調設備分散設置在各潔凈室的附近。分散設置方式的風管短,布置靈活,較能適應和利用原有空間,但在實際應用時應充分考慮噪聲與振動對產品生產可能帶來的影響。
3、混合設置：在一些項目中，大部分清潔生產區安裝的凈化空調裝置既采用集中凈化空調機房，又在特定的局部空間采用分散式凈化空調裝置，以滿足生產工藝的需要。它具有集中和分散的特點，更經濟、更靈活，滿足了產品生產的要求。
近年來,在大規模集成電路生產用潔凈廠房中常常采用隧道式送風、集中送風和風機過濾單元（FFU）送風方式,各類機房的布置基本采用“混合設置”的方式,即新風處理機集中設置,循環空氣機組分散設置。
三、潔凈室在布置時,應盡量避開變形縫,以利維護結構的密閉性
為了保證潔凈室圍護結構的氣密性(抗滲性)，避免裂縫，除了圍護結構的材料選擇和結構處理外，還應使主體結構具有良好的抗震性能、溫度變形控制性能和基礎不均勻沉降性能。在地震多發區，主體結構應具有良好的整體性和足夠的剛度，潔凈室主體結構應盡量受力均勻，車間變形縫應盡量避免穿過潔凈區。