一、潔凈室設計之人員凈化
在潔凈廠房內眾多的污染源中,人是主要的污染源之一,尤其是工作人員在潔凈環境中
的活動,會明顯地增加潔凈環境的污染程度。
集成電路生產中硅片污染源隨著芯片生產過程的自動化和微環境技術的日益廣泛應用,潔凈室技術性能的不斷提高和潔凈服技術的進步,其比率正逐漸變化。人員對芯片微粒污染比率逐漸減少,而設備、生產工藝過程所占比率逐漸增加,對人員的凈化要求隨所生產的產品對環境潔凈度要求的不同而不同,在工作入員進入潔凈室前必須按規定的程序進行人身凈化、人員凈化應循序漸進,有一個合理的程序,避免已清潔的部分再被臟的部分所污染。
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二、潔凈室設計之人員凈化用室及生活用室
人員浄化用室,應包括雨具存放、換鞋、管理、存外衣、更潔凈工作服等房問。廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空氣吹淋室、氣閘室、工作服洗滌和干燥間等其他用室,可根據潔凈室的用途、產品生產要求和具體設計的實際情況確定是否設置所有進入潔凈室的人員必須在換鞋處凈鞋或換鞋,目的在于使凈化用室入口處不致受到嚴重污染,多數潔凈廠房人員入口前設有擦鞋、水洗凈鞋、粘鞋墊、換鞋、套鞋等凈鞋措施。
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為了保護人員浄化用室的清潔,最徹底的辦法是在更衣前將外用鞋脫去,換上清潔鞋或鞋套。現有潔凈廠房工作人員都執行更衣前換鞋的制度,其中不少潔凈廠房對換鞋方式作了周密考慮,換鞋設施的布置考慮了外用鞋與清潔鞋接觸的地面要有明確的區分,避免了清潔鞋被外用鞋污染,例如跨越鞋柜式換鞋,清潔平臺上換鞋等都有很好的效果。
外出服在家庭生活及戶外活動中積有大量微塵和不潔物,服裝本身也會散發纖維屑,更衣室將外出服及隨身攜帶的其他物品存放于專用的存衣柜內,避免外出服污染潔凈工作服。
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手是交又污染的媒介,人員在接觸工作服之前洗手是十分必要的。操作中直接用手接觸潔凈零件、材料的人員可以戴潔凈手套或在潔凈室內洗手。
洗凈的手不可用普通毛巾擦抹,因為普通毛巾易產生纖維塵,最好的辦法是熱風吹干,電熱自動烘手器就是一種較好的選擇。
潔凈區設置廁所不僅容易使潔凈室受到污染,還會影響潔凈室(區)的壓差控制,所以最好不要在潔凈廠房的人員凈化用室的范圍內設廁所,如果確需在人員凈化用室內設置時,應設在盥洗室之前,廁所前增設前室,供人廁前更衣、換鞋用,同時室內應連續排風,以免臭氣、混氣進入潔凈區。
三、潔凈室設計之人員凈化用室的布置
人員凈化用室和生活用室通常設在潔凈廠房的人員人口處,兩部分房間可有置在一起統一安排,遵循空氣潔凈度等級的要求,由外至內逐步提高和入員凈化循序漸進。凈鞋措施應設在人員凈化用室的人口處;存外衣和更換潔浄服應分別設置,外衣存放柜應按設計人數每人設柜,潔凈工作服宜集中掛入帶有空氣吹淋的潔凈柜內;空氣吹淋室應布置在緊鄰潔凈室的人員入口處,即穿過空氣吹淋室就進人到潔凈室,通常空氣吹淋室是與潔凈工作服更衣室緊鄰布置;當設氣閘室時,氣閘室應布置在潔凈室人員入口處,氣閘室的兩道門不應同時開啟,應設連鎖裝置進行控制。
所以潔凈室設計必須要做好人員凈化和生活用室，才能保證潔凈室的潔凈度達標。